现场判断

现场先判断适不适用，再决定怎么查、怎么记、怎么闭合

替代/废止风险高
适用场景

半导体厂务现场判断

超纯水环路短时电阻率骤降，影响湿法工艺窗口并触发批次隔离。现场不要直接套条文，先核版本边界、部位范围和验收口径。

核对关键采样点在线仪表校准状态。优先用配套模板留痕，再做照片和复查闭合。

现场判断

版本风险、适用边界、检查点和资料闭环需要先统一口径。

版本与替代风险

最早引用版本 2010 年，最新引用年份 2013 年。站内只提示执行风险，不判定现行有效。

GB/T 11446.1-2013GB 50591-2010

引用版本较早，现场引用条文前必须核对是否已有新版、局部修订、废止公告或地方补充要求。

适用边界
  • 超纯水环路短时电阻率骤降，影响湿法工艺窗口并触发批次隔离。
  • 专业范围：半导体厂务 / 安装
  • 正式引用前核对合同规范清单、审图意见、设计说明、地方标准和主管部门最新公告。
  • 项目清单与本页依据不一致时，以项目批准文件和现行有效文本为准。
现场先看什么
  1. 是否按系统、分区、编号组织检查，不只看单点照片
  2. 是否把接口、支吊架、坡度、试验结果对应到系统回路
  3. 核对关键采样点在线仪表校准状态
  4. 排查抛光树脂、TOC和温控波动关联
  5. 检查旁路阀位和回流切换记录
常用检查点
  1. 核对关键采样点在线仪表校准状态
  2. 排查抛光树脂、TOC和温控波动关联
  3. 检查旁路阀位和回流切换记录
  4. 复验后锁定报警阈值与换料策略
优先留哪些记录
  • 系统编号或分区图
  • 试验起止时间和结果
  • 接口与支吊架节点照片
  • 检查日期、检查人和参与单位
  • 问题部位、范围和照片编号
优先模板
半导体超纯水电阻率骤降记录 回路编号、采样点、阻值趋势、关联参数、处置动作、复验结论。 系统调试与试运行记录 系统名称、设备编号、调试项目、运行参数、报警联动、异常处理和移交结论。 隐蔽工程验收记录 隐蔽部位、图纸版本、检查项目、影像资料、整改要求和验收意见。
优先工具
整改通知生成器 按问题部位、问题描述、整改要求、责任人和期限生成整改通知文本。 工期倒排计算 按目标完成日期、施工天数、缓冲天数和每周休息天数估算最晚开工日期。
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适用场景

超纯水环路短时电阻率骤降，影响湿法工艺窗口并触发批次隔离。

本页是现场执行清单和资料口径，不替代正式规范文本。需要引用条文时，应回到项目适用版本核对。

主要依据

  • GB/T 11446.1-2013 电子级水
  • GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范

现场检查清单

  1. 核对关键采样点在线仪表校准状态
  2. 排查抛光树脂、TOC和温控波动关联
  3. 检查旁路阀位和回流切换记录
  4. 复验后锁定报警阈值与换料策略

执行建议

  • 按系统、分区和编号组织试验记录，不只拍局部照片
  • 压力、通水、通球、坡度等结果要和图纸系统对应
  • 隐蔽前确认接口、支吊架和穿楼板节点
  • 先确认项目采用的规范版本、图纸版本和专项方案口径
  • 检查结果写到同一条记录里，避免照片、表格和台账分散
  • 发现不合格项时先明确责任人、完成期限和复查人

资料留痕

系统分区图或编号压力表、通水或坡度照片试验起止时间和结果检查日期、检查人和参与单位问题部位、范围和照片编号整改要求、责任人、期限和复查结论

配套资料模板

半导体超纯水电阻率骤降记录 回路编号、采样点、阻值趋势、关联参数、处置动作、复验结论。 系统调试与试运行记录 系统名称、设备编号、调试项目、运行参数、报警联动、异常处理和移交结论。 隐蔽工程验收记录 隐蔽部位、图纸版本、检查项目、影像资料、整改要求和验收意见。

常见误区

  • 只关注单点不看全环路趋势
  • 树脂更换后未复核冲洗稳定性
  • 报警复位后未做批次追溯