适用场景
洁净厂房量产前ULPA末端过滤器抽测出现局部泄漏与粒子反弹。
本页是现场执行清单和资料口径，不替代正式规范文本。需要引用条文时，应回到项目适用版本核对。
主要依据
- GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范
- GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范
现场检查清单
- 按网格对末端过滤器执行全覆盖扫描
- 核对风速、静压与洁净级别对应关系
- 排查密封胶条老化和框架变形影响
- 复验后锁定基线并纳入周期复测计划
执行建议
- 按系统、分区和编号组织试验记录，不只拍局部照片
- 压力、通水、通球、坡度等结果要和图纸系统对应
- 隐蔽前确认接口、支吊架和穿楼板节点
- 先确认项目采用的规范版本、图纸版本和专项方案口径
- 检查结果写到同一条记录里，避免照片、表格和台账分散
- 发现不合格项时先明确责任人、完成期限和复查人
资料留痕
系统分区图或编号压力表、通水或坡度照片试验起止时间和结果检查日期、检查人和参与单位问题部位、范围和照片编号整改要求、责任人、期限和复查结论
配套资料模板
常见误区
- 仅抽测中心区域忽略边框
- 扫描速度过快导致漏检
- 整改后不复测上下游粒子浓度