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半导体洁净厂房ULPA泄漏扫描记录

洁净厂房ULPA过滤器扫描、复测和偏差闭环记录。 区域编号、扫描网格、泄漏点位、粒子数据、整改措施、复验结论。

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电子洁净厂房

半导体洁净厂房ULPA泄漏扫描记录

编号：GD-AU-820

基本信息

工程名称 标段/分区
系统/部位 检查日期
施工/运维单位 监理单位
检查人 复核人

检查项目

检查项标准要求现场结果备注
关键项1按网格对末端过滤器执行全覆盖扫描
关键项2核对风速、静压与洁净级别对应关系
关键项3排查密封胶条老化和框架变形影响
关键项4复验后锁定基线并纳入周期复测计划

问题闭环

问题类型问题描述整改措施复验结论责任人
常见偏差1仅抽测中心区域忽略边框
常见偏差2扫描速度过快导致漏检
常见偏差3整改后不复测上下游粒子浓度

结论

检查结论 是否满足要求
遗留问题 复查日期

签字

施工/运维单位 签字 / 日期 监理单位 签字 / 日期 建设/业主单位 签字 / 日期 责任班组 签字 / 日期

填写提示

  • 记录应与现场照片、点位编号和系统名称一致。
  • 整改项需在复验完成后更新闭环状态并附复测数据。
样例状态

暂无样例

当前模板先提供空白表。建议按项目真实记录补一版“手写精品样例”，后续可用于班组培训和资料复核。

建议先补充

  1. 材料进场：批次、送检、复检结论与照片编号闭合。
  2. 隐蔽验收：部位、节点做法、整改前后照片同编号闭合。
  3. 试验检测：试验参数、报告编号、异常复测结果完整可追溯。
  4. 机电调试：系统参数、联动测试、问题销项与复调记录齐全。
现场闭环

模板使用闭环

从表格反查规范口径，填表前先算量，填完后进入日志或整改闭合。

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01

先核依据

填表前确认对应规范、检查点和验收边界。

规范半导体洁净厂房ULPA完整性扫描控制洁净厂房量产前ULPA末端过滤器抽测出现局部泄漏与粒子反弹。规范半导体大宗气柜减压阀蠕升控制半导体大宗气柜减压阀蠕升控制在连续运行和交接班场景下出现波动，需要通过分层排查、参数回归和复验闭环降低复发风险。规范半导体酸碱废气洗涤塔碱液电导失控控制半导体酸碱废气洗涤塔碱液电导失控控制在连续运行和交接班场景下出现波动，需要通过分层排查、参数回归和复验闭环降低复发风险。规范半导体尾气洗涤碱液加药脉冲丢失控制半导体尾气洗涤碱液加药脉冲丢失控制在连续运行和交接班场景下出现波动，需要通过分层排查、参数回归和复验闭环降低复发风险。规范半导体CDA总管氧含量侵入控制半导体CDA总管氧含量侵入控制在连续运行和交接班场景下出现波动，需要通过分层排查、参数回归和复验闭环降低复发风险。
03

补充阅读

对应文章用于确认现场检查动作、照片留痕和常见错误。

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