洁净厂房ULPA过滤器扫描、复测和偏差闭环记录。 区域编号、扫描网格、泄漏点位、粒子数据、整改措施、复验结论。
电子洁净厂房：洁净厂房ULPA过滤器扫描、复测和偏差闭环记录。
先确认这张表对应的部位、批次、楼层和验收边界，再开始填写，避免后面资料和现场对象脱节。
涉及编号、样品、测值、整改或签字流转时，先统一口径，再把记录补齐。
涉及数量、面积、损耗、坡度、工期或整改时先用工具统一口径。
| 基本信息 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 工程名称 | 标段/分区 | ||||||
| 系统/部位 | 检查日期 | ||||||
| 施工/运维单位 | 监理单位 | ||||||
| 检查人 | 复核人 | ||||||
| 检查项目 | |||||||
| 检查项 | 标准要求 | 现场结果 | 备注 | ||||
| 关键项1 | 按网格对末端过滤器执行全覆盖扫描 | ||||||
| 关键项2 | 核对风速、静压与洁净级别对应关系 | ||||||
| 关键项3 | 排查密封胶条老化和框架变形影响 | ||||||
| 关键项4 | 复验后锁定基线并纳入周期复测计划 | ||||||
| 问题闭环 | |||||||
| 问题类型 | 问题描述 | 整改措施 | 复验结论 | 责任人 | |||
| 常见偏差1 | 仅抽测中心区域忽略边框 | ||||||
| 常见偏差2 | 扫描速度过快导致漏检 | ||||||
| 常见偏差3 | 整改后不复测上下游粒子浓度 | ||||||
| 结论 | |||||||
| 检查结论 | 是否满足要求 | ||||||
| 遗留问题 | 复查日期 | ||||||
| 签字 | |||||||
| 施工/运维单位 签字 / 日期 | 监理单位 签字 / 日期 | 建设/业主单位 签字 / 日期 | 责任班组 签字 / 日期 | ||||
| 基本信息 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 工程名称 | 秦港半导体洁净厂房升级工程 | 标段/分区 | ULPA 区域 C | ||||
| 系统/部位 | 末端过滤网格扫描点位 | 检查日期 | 2026-10-05 | ||||
| 施工/运维单位 | 洁净工程运维班 | 监理单位 | 城建监理有限公司 | ||||
| 检查人 | 林检修 | 复核人 | 周监理 | ||||
| 检查项目 | |||||||
| 检查项 | 标准要求 | 现场结果 | 备注 | ||||
| 扫描覆盖 | 全网格无漏扫区 | 覆盖完整，缺陷点 2 处 | 异常 | ||||
| 粒子复核值 | ≤3,000 颗粒/m3 | 3,100 颗粒/m3，峰值 3,300 | 关注 | ||||
| 泄漏点位 | 复验点位定位准确 | 已定位至 2 号过滤框边缘 | 已闭环 | ||||
| 复测趋势 | 复测值回归合格 | 12h 后回归≤2,900 | 通过 | ||||
| 问题闭环 | |||||||
| 问题类型 | 问题描述 | 整改措施 | 复验结论 | 责任人 | |||
| UL-01 | 边缘密封条局部翘起 | 清洁并更换密封条，重扫 | 复检无异常 | 王工 | |||
| UL-02 | 单点扫描未记录时间戳 | 补齐扫描顺序和时间标签 | 补齐归档 | 赵工 | |||
| 结论 | |||||||
| 检查结论 | ULPA 扫描缺陷已定位处理并复测恢复，后续继续观察 24h。 | 是否满足要求 | 是 | ||||
| 遗留问题 | 无 | 复查日期 | 2026-10-13 | ||||
| 签字 | |||||||
| 施工/运维单位 林检修 / 2026-10-05 | 监理单位 周监理 / 2026-10-05 | 建设/业主单位 周总工 / 2026-10-05 | 责任班组 洁净厂房巡检组 / 2026-10-05 | ||||
洁净厂房ULPA过滤器扫描、复测和偏差闭环记录。
从表格反查规范口径，填表前先算量，填完后进入日志或整改闭合。
填表前确认对应规范、检查点和验收边界。
涉及数量、面积、损耗、坡度、工期或整改时先用工具统一口径。
对应文章用于确认现场检查动作、照片留痕和常见错误。
填完模板后同步施工日志，问题项进入整改闭合。