半导体超纯水电阻率骤降恢复笔记

记录超纯水环路电阻率骤降后的追踪和恢复验证步骤。

场景与症状

湿法段批次切换时出现电阻率短时骤降，质量团队需要快速界定影响范围。

排查与处置步骤

先对齐在线仪表校准状态，再联查TOC、温度和树脂状态，排查阀位切换日志，最后执行批次追溯与复验确认。

现场判定建议

骤降恢复后也要保留完整趋势图，否则后续很难识别同类前兆。

资料留痕与复盘动作

建议把本次处置统一成“时间轴 + 点位轴 + 责任轴”三联记录：时间轴写清首次告警、临时动作、复验通过和关闭时间；点位轴固定系统编号、测量口径、参数截图和现场照片；责任轴明确执行人、复核人和班次交接人。每次关闭后至少沉淀一条可复用阈值或触发条件，并在周例会上确认是否纳入标准作业卡，避免同类问题在下一轮工况波动中重复发生。